我国精密金属掩膜版国产技术获重大突破
发布时间:2025-01-08 19:22:34  来源:科技日报  作者:admin  点击:1212次

在新型显示技术有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体(AMOLED)领域,号称“OLED行业光刻机”的FMM精密金属掩膜版(Fine Metal Mask,以下简称FMM)及其Invar36金属薄带原材料,近期有了国产化新进程。

日前,我国掩膜版企业众凌科技发布两项技术成果,一是与包括山西太钢不锈钢精密带钢有限公司联合研发的大宽幅FMM用Invar金属薄带量产成功,二是大尺寸产品用G8.6 FMM产品的试量产成功。此次突破不仅填补了国内技术空白,更标志着我国在AMOLED产业链上游关键材料领域取得重大进展。

据了解,FMM的最大门槛在于获得高质量的Invar合金卷材,短期开发替代厂商,长期自研国产化材料是较为合理的选择,但对团队技术研发和整合能力要求极高。众凌科技凭借多年技术积累,成功攻克Invar合金卷材制备难题,实现材料性能与国际领先水平接轨。

显示产业资深专家、清华大学教授张百哲指出,材料国产化,一定要做到源头。否则就容易被卡脖子,作为追赶者难以盈利。

中国OLED产业联盟常务副秘书长耿怡表示,显示面板产业链的协同合作非常重要。我们长期关注显示产业上游材料问题的解决,而一直忽视了显示面板产业上游材料商也面临材料需求国产化替代的问题,材料端的产业合作应被重视起来。此次众凌与上游钢铁企业的合作,在行业内是个非常值得研究的创新性成果,值得在国产化产业链研究推广。

浙江众凌科技于2021年开始与山西太钢不锈钢精密带钢有限公司等上游钢铁企业深度研发攻关FMM用Invar合金薄带,2024年末实现FMM产业全链条的国产化。这是国内企业第一次实现从原材料采购→熔炼→热轧→粗轧→精轧到满足FMM需求的成品INVAR薄带全国产化链条供应。

目前,太钢精带的可量产Invar薄带产品宽幅已达400mm,厚度精准至25um,厚度均一性控制在≤0.7um,契合FMM行业主流需求规格,有力填补国内空白。双方还透露,未来产品蓝图更为广阔,宽幅将向500-600mm大步迈进,厚度有望减薄至15um级别,以卓越品质赋能更大尺寸、更高分辨率的OLED显示需求。

G8.6面板尺寸较G6世代增大一倍,用于生产15寸-30寸上下的中大尺寸面板有更好的排版利用率和生产效率,且中大尺寸产品像素密度较小尺寸显示要低,其电路背板要求也有更大技术余量。国内以京东方、维信诺、华星光电为首的企业,已经开始陆续投资G8.6产线。海外三星和LG也开始纷纷布局。

G6和G8.6产品对于排版效率的差异,以及FMM尺寸大小的差异。众凌科技供图

中国电子材料行业协会常务副秘书长鲁瑾表示,随着OLED显示技术在下游包括平板、手机、电脑,以及AR、VR的应用,OLED面板市场需求不断加快。FMM作为OLED生产过程中的核心模具,其在尺寸精度、平整度还有稳定性等方面要求变得愈发严苛,成为决定OLED面板性能的重要一环。

众凌科技总经理徐华伟表示,众凌科技是国内最早研判G8.6趋势并投资设备的FMM企业,产能方面,目前第二期设备已经下单,今年第三季度可投产使用,预计产能在现有基础上实现翻番,能覆盖国内约70%市场需求。